潔淨室對顆粒物（例如灰塵）的規格是根據最大允許粒徑以及每單位體積（通常為立方米）的最大允許顆粒數定義的。對於非微粒污染物，以微生物/立方米或分子/立方米為單位指定了最大允許密度。四個基本規則適用於潔淨室。首先，不得將污染物從外部引入受控環境。其次，受控環境內的設備不得產生或以其他方式引起污染物（例如，由於摩擦，化學反應或生物過程的結果）。第三，不允許污染物在受控環境中積聚。第四，
在美國，無塵室一直使用聯邦標準209E（FED-STD-209E）定義潔淨室的要求，直到2001年11月。在2001年11月29日，這些標準被ISO規範14644-1 的發布所取代。最先進的研究，開發和製造過程越來越需要環境條件，在這種條件下，空氣中顆粒物的濃度不得超過特定限值。具有確定濃度的空氣傳播顆粒的房間，其設計和使用方式應使引入房間或從房間中產生並沉積在房間中的顆粒數量盡可能少，並在其中選擇與清潔度有關的其他參數，例如溫度，濕度和壓力可以根據需要進行控制。
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